Gnéithe táirge
Tacú le leaganacha iolracha (PLC/PC) agus prótacail cumarsáide príomhshrutha éagsúla;
Dearadh agus táirgeadh a dhéantar i gcomhréir le caighdeán táirgthe sábháilteachta SEMI;
Cumas dearadh cainéal ard, UPH400~550pcs;
Oiriúnach do thoisí táirge il agus irisí;
Dearadh paitinnithe ar leibhéal sliseog MFC, a chuireann cosc ar sceitheadh gáis ó bheith ina chúis le tionóiscí sábháilteachta (a thacaíonn le -gáis ardriosca amhail hidrigin);
Dearadh paitinnithe seomra séalaithe ard, suas le 5pa;
Uillinn teagmhála uisce<10° (related to the material of product surface);
Dearadh ceithre chainéal le haghaidh próiseála comhuaineach 4 tháirge, le leictreoidí dé-bun, ag laghdú an t-am le haghaidh iontrála agus scoir an bhoird, feabhas mór a chur ar éifeachtúlacht, agus aonfhoirmeacht an táirge a chinntiú i bpróiseáil.
sonraíochtaí teicniúla
|
Cumraíocht Fheidhmeach |
Paraiméadair Theicniúla |
|
|
L×W×H(mm) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
Trealamh |
Meáchan glan(kg) |
1000 |
|
Imréiteach imeallach(mm) |
600 ar chúl, 600 ar an dá thaobh |
|
|
Seomra |
Toirt(L) |
Thart ar 9 |
|
Cainéal (uimh.) |
4 |
|
|
Leictreoid bun (ríomhairí pearsanta) |
2(feidhm aistrithe) |
|
|
Modh beathaithe |
Irisleabhar |
|
|
Toise táirge oiriúnaitheach (mm) |
Leithead: 40-100 Fad: 150-300 |
|
|
Leictreoid |
Toise leictreoid(mm) |
528×300 |
|
Soláthar cumhachta RF |
Cumhacht caighdeánach (kW) |
1 |
|
Minicíocht(MHZ) |
13.56 |
|
|
Rialú gáis |
Suas le trí chainéal |
2 chainéal (caighdeánach), 3 chainéal (roghnach) |
|
Córas rialaithe |
Comhéadan-inneall daonna |
PC + scáileán tadhaill |
|
Comhéadan cianda |
Cumarsáid |
Roghnach |
|
Caidéal folúis |
Caidéal tirim roghnach |
17CFM |
|
Caidéal ola roghnach |
195CFM |
|
|
Caidéal tirim roghnach le feidhm glantacháin |
TÁ |
|
|
Ráta sreafa glantacháin nítrigine (SLM) |
2 |
|
|
Am folúis(S) |
10月15日 |
|
|
Am briseadh folúis(S) |
3-4 |
|
|
Áiseanna monarchan |
Soláthar cumhachta |
Trí-phas 380V50/60Hz 4.5kW (caidéal ola) |
|
Toise & cineál an phróisis |
Swagelok 1/4 orlach |
|
|
Íonacht an gháis phróisis |
Grád tionsclaíoch agus os a chionn |
|
|
Brú an gháis phróisis (psig) |
10-20 |
|
|
Toise & cineál na píblíne glantacháin gáis |
Swagelok 1/4 orlach |
|
|
Glanadh íonachta gáis |
Grád tionsclaíoch agus os a chionn |
|
|
Brú an gháis glanta (psig) |
15 |
|
|
Toise & cineál aeroibrithe |
Brú 10mm-i bhfeistiú |
|
|
Íonacht an gháis aeroibrithe |
Aer comhbhrúite, ola-saor in aisce, drúchtphointe Níos lú ná nó cothrom le 7 gcéim ,cáithníní<5 |
|
|
Brú an gháis aeroibrithe (psig) |
70-90 |
|
|
Aer comhbhrúite(mm) |
∅8 |
|
|
Comhlíonadh |
Deimhniú |
SEMI |
|
Trealamh coimhdeach |
Gineadóir nítrigine (roghnach) |
Roghnach le haghaidh glantacháin nítrigine |
|
Fuaraitheoir uisce (roghnach) |
Roghnach le haghaidh fuaraithe leictreoidí |
|
|
Trealamh hidrigine (roghnach) |
Roghnach le haghaidh cóireála hidrigine |
|
|
Próiseálaí gáis sceite (roghnach) |
Roghnach le haghaidh cóireála sceite fluairín |
|
|
Iompar |
Meáchan iomlán(kg) |
1050 |
|
Líon na bpacáistí |
1 |
|
|
Pacáistiú i gcomhréir le caighdeán SPM15 |
TÁ |
|
Clibeanna Te: Córas Uathoibríoch Cóireála Plasma Fholúis VP-10S, Córas Uathoibríoch Cóireála Plasma Fholúis